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      氮化鋁具有電絕緣性和優(yōu)異的導(dǎo)熱性,對于需散熱的應(yīng)用而言,它是理想之選;此外,由于其熱膨脹系數(shù)接近硅,且具有優(yōu)異的等離子體抗性,可被用于制造半導(dǎo)體加工設(shè)備部件。
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